殘留氣體成分檢測(cè)用真空計(jì)SC-10的原理分析

SC-10 通過測(cè)量總壓力的冷陰極計(jì)放電的顏色來區(qū)分氣體成分。利用光的顏色（波長(zhǎng)）根據(jù)氣體成分而不同的事實(shí)來測(cè)量成分。也可以在 SC-10 光譜模式屏幕上查看氣體成分的波長(zhǎng)。

由于氣體成分測(cè)定部設(shè)置在大氣壓側(cè)，因此不會(huì)被真空中的氣體污染，可以不受污染影響地進(jìn)行測(cè)定。此外，冷陰極真空計(jì)不含燈絲，因此可用于嚴(yán)苛的應(yīng)用。

智能真空計(jì)可以測(cè)量殘留氣體的成分，讓您可以快速了解真空設(shè)備在抽真空過程中的健康狀況，例如泄漏和水蒸氣的脫氣。下面兩張圖顯示了同一設(shè)備的不同抽氣數(shù)據(jù)。圖 1 顯示了正常抽氣，水蒸氣是決定總壓真空的主要成分，而在圖 2 中，由于泄漏而使用了氮?dú)?。開始向下抽真空約5分鐘后停止，如果繼續(xù)抽真空，約10分鐘后氮?dú)庾優(yōu)樗魵庖陨?，全壓真空度停止下降。通過使用智能真空計(jì)，您可以快速發(fā)現(xiàn)通過監(jiān)測(cè)全壓真空度無法檢測(cè)到的排氣異常及其原因。

                                                                              圖1

                                                                           圖 2

使用智能真空計(jì)，您不僅可以知道是否有泄漏，還可以通過吹氦氣或氬氣找到泄漏的位置。圖 3 顯示了智能真空計(jì)在氬氣吹到泄漏點(diǎn)時(shí)的數(shù)據(jù)，可以看出由于氬氣的增加和氮?dú)獾臏p少，此處存在泄漏。停止泄漏后，如圖4所示，氮?dú)夂脱鯕鉁p少，水蒸氣成為主要成分，是真空設(shè)備的典型殘余氣體成分。

                                                                       圖 3

                                                                           圖 4