Excimer UVO3 清潔重整器 6 英寸兼容桌面型號

準分子UVO3系統(tǒng)桌面型

臺式型號：E172 -152

應用實例

• 電子顯微鏡樣品的預處理

• 清潔樣品和夾具

• 提高樣品表面的潤濕性、親水性和親和力

• 提高接合面的附著力

• 表面改性

• 清洗晶圓和玻璃表面后，分解殘留有機物并清洗

• 提高涂覆前以及涂覆晶圓和玻璃表面的均勻性

特征

• 兼容工作尺寸 6" (152mm)

• 載物臺傳輸準分子UV掃描照射法

• 工藝參數(shù)（照射速度、照射次數(shù)、照射距離）

• 可選工藝參數(shù)（N2 吹掃、加熱階段）

• 配備臭氧消減處理裝置

• 波長172nm Xe準分子紫外燈 利用光化學反應在室溫下進行短時間精密加工

• 市電，僅限 AC100V 電源

• 門聯(lián)鎖設備

• 節(jié)省空間的桌面型號

• 不使用汞燈

通過簡單的基本設計實現(xiàn)高工藝性能。

使用準分子UV光源進行光化學反應表面處理，由于光源的特性，照射物體的溫度不易升高，使得可以對容易受熱影響的物體進行低溫表面處理，例如薄膜材料。此外，與等離子體等物理表面處理不同，光化學反應的特點是加工精度高，不易對工件造成損壞。

無需真空泵，內(nèi)置臭氧去除裝置

基本規(guī)格

緊湊型準分子172nm紫外光源

型號：E500-172-110

通過簡單的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)實現(xiàn)低成本和高性能?？梢粤⒓创蜷_和關(guān)閉。風冷準分子燈是研究和開發(fā)的理想選擇。使用準分子UV燈的光學表面處理非常適合薄膜材料等容易受熱影響的物體的精密低溫表面處理，因為由于準分子燈的特性，工件的溫度不易升高。

基本規(guī)格