氧氣濃度檢測儀在半導體制造過程中的重要性
檢測部分采用穩(wěn)定氧化鋯陶瓷的便攜式氧氣計。 這是一個集成傳感器、控制單元、流量計、泵和過濾器。
1.與先前型號（TB-FI系列）相比重量減輕
（EZY：4.3kg/先前型號：6.0kg）
2.根據用途可選擇顏色變化（紅、綠、藍）
3.平滑的溫度控制可實現穩(wěn)定的測量（減少波動）
4.傳感器多層保護，耐腐蝕，使用壽命長（保修2年）
| 模型 | EZY-1-G | EZY-1-R | EZY-1-B | EZY-2-G | EZY-2-R | EZY-2-B |
| 顏色 | 綠色的 | 紅色的 | 藍色的 | 綠色的 | 紅色的 | 藍色的 |
| 類型 | 無采樣泵 | 帶采樣泵 | ||||
| 原則 | 氧化鋯陶瓷電化學電池 | |||||
| 作品 | SS盒、TB傳感器、C-301控制單元、帶針閥的流量計等。 | |||||
| 測量范圍 | 1ppm～100% O2 | |||||
| 展示 | %: 0~99.99%O2 ppm : 0~ 9999ppmO2 | |||||
| 輸出 | 4~20mADC（隔離） 0~1VDC、0~5VDC、0~10VDC（隔離，選其一） RS-232C 繼電器接點：3點（A接點），集電極開路輸出：2點（以下可任意分配） 濃度報警：Hi/Lo、HHi/Hi 或 Lo/LLo（LCD 顯示） 傳感器異常（故障）報警：加熱器、RTD斷線（LCD顯示） 預熱完成信號 范圍回復 | |||||
| 接點輸入 | 遠程校準變送輸出（電壓/電流） 保持遠程量程切換 | |||||
| 量程切換 | 自動/手動/遠程 | |||||
初始設置 | 0~25.00%O2 / 0~ 9999ppmO2 | |||||
| 樣本吸取 | 樣品壓配合 | 內置泵抽吸 | ||||
| 樣品壓力 | 高達 2 個大氣壓 | |||||
| 漂移線性重復性 響應速度 管道連接 樣品流速 樣品溫度 預熱時間 電源 配件 | ±2%FS 以內/周 ±1%FS 或 ±1ppm 以內，以較大者為準 在 ±1%FS 或 ±1ppm 以內，以較大者為準 10秒內90%響應（如果向高濃度側擺動） RC1/4 0.2～2L/分鐘 最高60℃ 約20分鐘 免費電源（85-260VAC） 電源線3m | |||||
